PSA | 超薄塗布技術解析

  • PSA
  • 2019/01/22

 

隨著光電產業的蓬勃發展,各種光學薄膜陸續被開發出來。就塗布而言,這些光學薄膜產品的特點包括:



1.均勻度要求很高;


2.塗料黏度很低:塗料黏度可能<10cps;


3.厚度超薄:

以抗反射膜為例,對單層塗布,當nd=λ/4 時,可得破壞性干涉,也就是反射率為0 ,其中n為塗層折射率,一般都在1~2 之間, d 為塗層厚度,λ為入射波波長, 介於400~700nm ,因此,塗層幹膜厚度都小於0.2μm,可預期濕膜厚度可能低至1μm 。

因而要生產此類產品,就必須開發超薄塗布技術。圖一是各種可能的超薄塗布技術。

在成卷基材超薄塗布的各種可能方法中,將依續介紹微凹版印刷式塗布、張力基材擠壓式塗布、毛細管式塗布、水相表面展開式塗布等幾種方法;在非連續基材超薄塗布的各種可能方法中,旋轉塗布法(Spin Coating)為大家所熟知,擠壓式塗布法(Extrusion Coating)應用在LCD 光阻塗布,在此不多做說明,此一部分僅介紹液面彎曲式塗布。

以下即針對這些塗布方法加以說明。



因而要生產此類產品,就必須開發超薄塗布技術。

圖一是各種可能的超薄塗布技術。

在成卷基材超薄塗布的各種可能方法中,將依續介紹微凹版印刷式塗布、張力基材擠壓式塗布、毛細管式塗布、水相表面展開式塗布等幾種方法;

在非連續基材超薄塗布的各種可能方法中,旋轉塗布法(Spin Coating)為大家所熟知,擠壓式塗布法(Extrusion Coating)應用在LCD 光阻塗布,在此不多做說明,此一部分僅介紹液面彎曲式塗布。以下即針對這些塗布方法加以說明。


圖一






微凹版印刷式塗布


微凹版印刷式塗布是日本Yasui Seiki公司的專利技術,其結構如圖二(a),與傳統凹版印刷式塗布(圖二(b))相較,異同如下。






圖二(a)、圖二(b)


 

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